导报讯(记者 陈磊 杨晓辉)半导体制造领域,"卡脖子"难题又少了一道。6月27日,记者从厦门宇电温控科技(以下简称:宇电)的新品发布会上获悉,宇电温控器已成熟应用于国内半导体设备龙头厂商,进一步推动了该领域的温控器国产替代。
六大关键性能指标
均达到行业领先水平
温控器是高端制造业必不可少的关键一环。半导体行业是最高端的制造业,对温控器测量精度、分辨率和采样速率等都有极高的要求--测量分辨率要求高温条件下达到0.01℃,中低温条件下要达到0.001℃;测量精度达到0.1级以上;采样速率满足毫秒级的同时,具备强大的50Hz抗干扰性能;高温条件下,工艺曲线温度重复性优于0.2℃;任何故障或测控误差,都可能造成百万以至数千万以上的损失,可靠性要求严苛……
上述要求对温控器的硬件性能、软件控制算法、可靠性提出巨大挑战。很长一段时间,在半导体镀膜和刻蚀这类核心设备中,只有外国品牌的半导体行业专用温控器才能满足要求。随着国际形势复杂多变,各行各业对降本增效及供应链稳定的需求越来越显著,具有技术自主可控的高性能高品质的产品成为企业首选。
面对机遇和挑战,宇电成功研发新一代多回路高性能温控器,在测量精度、分辨率、采样速率、控温精度、抗干扰性能、温漂这六大性能指标均达到行业领先水平,并针对半导体行业研发出新一代AI智能控温专用算法。
解决"卡脖子"问题
实现温控器国产替代
目前,宇电温控器在导体领域控温难度最大的金属高温腔室测试中,工艺重复精度等关键指标已优于进口温控器。此外,宇电已被纳入了半导体行业龙头企业的质量管理体系,成功在核心设备上实现了温控器的国产替代,解决了国产半导体行业面临的"卡脖子"问题。
针对快速增长的锂电行业,宇电推出多回路四线制耐高温温度采集模块,极限测试可在高达150°C条件下可靠工作,真空环境下工作温度也可达125°C,耐高温性能领先国际同行。
成立于1991年的宇电温控科技,是厦门火炬高新区内成长起来的高科技企业,是国家级专精特新"小巨人"企业,更是国内温控器领域的隐形冠军--年规划产能达1000万台,已成为全球规模最大的专业温控器生产企业。本次发布会,汇集了来自全国各行各业的宇电生态伙伴,数十家企业的代表来到厦门共探温控科技发展。
厦门火炬高新区正打造全要素支撑的创新创业生态,促进产业高质量发展。发布会上,厦门火炬高新区党工委委员、总经济师张斌娜表示,高新区将始终以服务企业需求、推动产业发展为使命,为各方搭建技术合作交流、项目合作、产业联动的多元化平台,携手发展共赢未来。